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장비기본정보

기관명
강원대학교 공동실험실습관
장비명
시편코팅기 (Specimen Coater)
모델명
Leica EM ACE600
제작사(국가)
Leica(Germany)
제작년도
2016
용도
분석
분류
화합물전처리
취득일
2016.11.11
장비설명
전자현미경 관찰 및 분석을 위한 시편 표면 위에 금속 및 카본코팅을 하는 장비로서 전자현미경 분석 전 Ir, Pt, C 등을 코팅하여 시편 위에 전도성 막 (또는 층)을 수 nm~mm 이하로 코팅함으로서 전자 빔에 의한 시편의 열적 손상을 방지 하고 Charging 방지 및 SE/BSE Signal 증폭의 목적으로 사용함.
장비구성

성능
"1) Sputter 전류조절 범위 : 15-150 mA, 연속조절가능
2) Glow discharge 전류조절 범위 : 5-15 mA, 연속조절가능
3) 최대진공 : ≤2ⅹ10-6 mbar
4) Working distance : min. 30mm, max. 100mm
5) Motorized stage - 3축 (회전, 높낮이, 기울기)을 터치스크린 조작으로 모터에 의한 자동 조절 - 직경 104mm 테이블, 25 standard SEM Specimen mounts with Ø3.2mm pin
6) Foil target 규격 : 지름 54mm, 두께 최대 1mm
7) Carbon rod : 3 mm 지름
8) 코팅시간 : 1 s ~ 1800 s
9) 코팅두께 : 1 nm ~ 1000 nm
10) 코팅두께 측정장치 내장 : (QSG-quartz crystal measurement) QSG 해상도 : one decimal (0.1 nm accuracy), includes 10 crystals"
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
건당
이용료
12,000원
설치형태
고정
설치장소
미래관 111호
장비상태
정상
담당자
임준기
연락처
0332507129
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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